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產品與服務

公司業務領域涉及半導體與太陽能光伏單晶硅生長及硅片切磨加工設備，太陽能光伏硅片、電池片清洗、制絨、刻蝕、組件串焊、疊焊設備，半導體薄膜生長設備(ALD、 PECVD、 LPCVD等)，藍寶石、碳化硅等新型半導體材料晶體生長及切磨加工設備，以及硅料微波加熱破碎、氬氣凈化回收設備。同時公司具備提供工業4.0背景下太陽能光伏智能制造、智慧工廠的解決方案及軟硬件交付能力。

連續加料直拉單晶爐 CCz

主要技術指標
1、整機尺寸:(LWH)2000X2300X10800m;
2、主腔室內徑1400mm，副爐室內徑350mm;兼容24~34英寸RCz和32~34英寸CCz熱。衫10英寸以下直徑的晶體;
3、加熱方式:電阻加熱，DC電源Pmax=150:50Kw，頻率50Hz;

數控滾磨機 LQ003PF

主要技術指標
1、加工晶棒直徑:4~8英寸
2、加工晶棒長度:≤400mm
3、橢圓度:≤0.05mm

數控平面磨床 LQ016/LQ018

設備優勢
主要部件均采用知名品牌,穩定性高,耐用性強。
采用精度P3級滾珠絲桿傳動,精度高。
鑄件采用高等級灰口鑄鐵,具有更好的抗彎及抗扭應力。
可選配三級過濾水箱或紙帶式過濾器,保持切削液清潔，提高加工性能及刀具壽命,減少環境污染。
硬軌全人工刮研,導軌貼合面采用貼塑處理,降低阻尼系數,提高機床精度。
可選配常規、密集型以及一體式電磁吸盤,通用性強。

碳化硅感應生長爐

設計優點
1、滿足6吋/8吋晶體生長;
2、一鍵智能啟動，減少人工干預，利于規模化生產;
3、PVT-MF-50型碳化硅感應式長晶爐適用于生長高質量六吋碳化硅單晶、高純度碳化硅原料合成、晶體退火等領域。

碳化硅電阻式長晶爐

設計優點
1、結構緊湊，可采用并排布局，提高廠房利用率;
2、滿足6-8寸半絕緣/導電晶體生長需求;
3、PVT-RS-40型碳化硅電阻式長晶爐適用于生長高質量6-8吋碳化硅單晶、高純度碳化硅原料合成、晶體退火等領域。

碳化硅金剛線截斷機 LQJD3010

設計優點
1、設備可以使用30m/s的高線速度穩定切割,切割效率高,產出比高;
2、設備可以自行選擇旋轉、線搖擺和料搖擺加工方式,更好的實現工藝的多種需求;
3、設備的加工精度高，截斷樣片的TTV均值30μm以內,遠超同行業水平;
4、設備可以穩定使用0.18mm金剛線，張力控制精準,細線化在料損上控制非常優秀;
5、設備使用匯川最高級別的IS810系列控制器，配置高精度伺服電機13個;
6、收放線系統排布在設備左右兩側,有效降低振動產生的影響,大幅度提升加工精度;

退火爐 VAF600

設計優點
1、設備結構緊湊;
2、采用環狀加熱結構，爐體溫度均勻性好;
3、自動調節溫度;
4、精確真空控制;
5、產品兼容范圍大，根據產品尺寸更換載具就可輕易實現換型。