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產(chǎn)品與服務(wù)
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控制智能化
適用于生產(chǎn)高質(zhì)量6吋/8吋碳化硅晶體生長
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產(chǎn)品特點(diǎn)
控制智能化
可導(dǎo)入多種預(yù)設(shè)長晶方式，根據(jù)使用需求進(jìn)行一鍵切換。
工藝適配性好
可配備雙加熱器并獨(dú)立控制，便于調(diào)整溫度梯度。
運(yùn)行穩(wěn)定性強(qiáng)
水冷坩堝軸、籽晶軸旋轉(zhuǎn)平穩(wěn)；氣壓溫度閉環(huán)控制，控制精度高。
其他優(yōu)勢
熱場安裝方便，籽晶液面接觸檢測，液面視覺檢測。
技術(shù)參數(shù)
| 型號 | HTSG-RS-760 |
| 尺寸：整機(jī)長 x 寬 x 高 | 3000X2600X4700 mm |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 裝料方式 | 上部裝料 |
| 可選配置 | 熱場及基礎(chǔ)工藝包 |
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